傳感器的振動系統(tǒng)由“m-k”系統(tǒng)組成，與一般加速度計相同，但質(zhì)量m上附有一個電磁線圈。當?shù)鬃嫌屑铀俣容斎霑r，質(zhì)量塊偏離平衡位置。位移由位移傳感器檢測，由伺服放大器放大，并轉(zhuǎn)換為電流輸出。電流流過電磁線圈，在永磁體的磁場中產(chǎn)生電磁恢復力，試圖將質(zhì)量塊保持在儀器外殼位置的原始平衡，因此伺服加速度傳感器在閉環(huán)狀態(tài)下工作。
加速度傳感器的分類：
1、壓電式
壓電加速度計也稱為壓電加速度傳感器。它也是一個慣性傳感器。
壓電加速度計的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應(yīng)。當加速度計振動時，質(zhì)量施加在壓電元件上的力也會發(fā)生變化。當測得的振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時，力的變化與測得的加速度成正比。
2、壓阻式
壓阻式加速度傳感器基于MEMS硅微加工技術(shù)，具有體積小、功耗低等特點，易于集成在各種模擬和數(shù)字電路中，廣泛應(yīng)用于汽車碰撞實驗、測試儀器、設(shè)備振動監(jiān)測等領(lǐng)域。
3、電容式
電容式加速度傳感器是一種基于電容原理的電容傳感器。電容式加速度計是一種通用的加速度計。它在一些領(lǐng)域是不可替代的，例如安全氣囊、手機和移動設(shè)備。電容式加速度計/電容式加速度傳感器采用微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)，在大規(guī)模生產(chǎn)中變得經(jīng)濟，從而確保低成本。
4、伺服式
伺服加速度計是一種動態(tài)性能好、動態(tài)范圍大、線性度好的閉環(huán)測試系統(tǒng)。
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